使用软硬复合结构的研磨轮的制造和应用,用于碳酸基板精密加工
Qiufa Luo1,2,3, Jieming Chen1, Jing Lu1,2,3,4
1Institute of Manufacturing Engineering, Huaqiao University, Xiamen 361021, China.
Materials (Basel, Switzerland)
|May 11, 2024
概括
一个用于碳化 (SiC) 加工的新型复合材料研磨轮减少了表面和地下损坏. 这一创新使SiC基板能够进行超精确的加工,从而改善后续抛光步骤.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 机械工程 机械工程
- 表面科学是一门学科.
背景情况:
- 碳化 (SiC) 基板的固定磨削可能会造成显著的表面和地下损伤,影响后续的抛光工艺.
- 实现SiC的超精密加工对于先进的应用至关重要.
研究的目的:
- 制造和评估一种具有软硬复合结构的新型研磨轮,用于超精密加工SiC基材.
- 为了研究不同制造参数对研磨性能的影响.
主要方法:
- 使用冷干燥凝制造复合材料研磨轮,其凝类型,加热温度和组成比率各不相同.
- 通过分析SiC基板的表面完整性和地下损伤来评估研磨性能.
- 通过操纵凝特性和成分来控制磨砂剂暴露高度.
主要成果:
- 成功制造了一个复合材料研磨轮,使用在110°C的冷干燥凝,树脂与凝的比率为 4:6.
- 实现了光滑的SiC基板表面,在研磨后的裂最小.
- 对磨料暴露高度和纳米级切割深度的证明控制.
结论:
- 开发的软硬复合材料研磨轮有效用于超精密加工SiC.
- 控制磨料暴露高度是实现纳米级切削深度的关键.
- 这种制造方法对于大型SiC基板加工非常重要.
