一个改进的数据处理算法,用于光谱分辨率干涉测量,使用五秒激光

Tao Liu1, Hiraku Matsukuma1, Amane Suzuki1

  • 1Precision Nanometrology Laboratory, Department of Finemechanics, Tohoku University, Sendai 980-8579, Japan.

PubMed
概括

这项研究引入了一种新的时移算法,以提高使用光谱分辨干扰测量的绝对距离测量的准确性. 与传统技术相比,改进的方法显著减少了偏差.