一种新的制造方法来提高线性微镜阵列的产量,这些阵列的辅助是临时 anchors
Xingchen Xiao1,2, Ting Mao1,2, Yingchao Shi1,2
1Ningbo Institute of Northwestern Polytechnical University, College of Mechanical Engineering, Northwestern Polytechnical University, 710072 Xi'an, China.
Microsystems & nanoengineering
|May 21, 2024
概括
这项研究引入了一种新的制造方法,用于使用临时的线性微镜阵列 (MMA). 这种技术克服了常见的制造挑战,使先进的MEMS设备的高产量生产成为可能.
科学领域:
- 微电子机械系统 (MEMS) 是一种微电子机械系统.
- 光电学是指光电子产品.
- 材料科学 材料科学 材料科学
背景情况:
- 线性微镜阵列 (MMA) 是常见的空间光调节器.
- 制造方面的挑战包括微结构的附着性和由于残余应力而导致的薄膜破坏.
研究的目的:
- 提出一种创新的加工方法,用于制造线性MMA.
- 解决和克服MEMS设备制造中的关键制造挑战.
主要方法:
- 使用了一种临时杆辅助处理方法.
- 子被放置在主要的蚀刻区域内,以便轻松拆除.
- 减少了微结构的跨度,并改善了膜的欧勒屈曲极限.
主要成果:
- 实现了线性MMA的晶圆级,高产量制造,填充率为95.1%.
- 开发了60个元素的增强型MMA,光圈为5mm x 6mm,长宽比为52.6.6.
- 在110Vdc的光学偏斜角度为20.4°,具有出色的平坦度和均性.
结论:
- 临时 anchor方法为高产量的薄膜MEMS设备的制造提供了一个可行的方法.
- 拟议的线性MMA显示出作为在光谱成像和光通信中替代数字微镜器件 (DMD) 的承诺.
