对碳酸的五秒激光加工进行审查
Quanjing Wang1, Ru Zhang1, Qingkui Chen1
1School of Mechanical and Electronic Engineering, Shandong Jianzhu University, Jinan 250101, China.
Micromachines
|May 25, 2024
概括
五秒激光处理为加工具有挑战性的碳化 (SiC) 提供了精确的控制. 本综述详细介绍了先进的SiC设备制造的方法和应用.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 激光处理 激光加工
- 半导体制造业 半导体制造业
背景情况:
- 碳化 (SiC) 是一种硬的,导热的,化学惰性的半导体.
- 由于其材料特性,加工SiC存在重大挑战.
- 五秒激光器提供了一个精确的方法来去除和修改SiC材料.
研究的目的:
- 审查SiC的秒激光加工的工艺特性,进展和应用.
- 讨论用于5秒激光加工SiC的各种方法.
- 突出这一领域的进步,挑战和未来方向.
主要方法:
- 使用秒激光器直接加工SiC.
- 包括SiC在内的复合材料加工技术.
- 处理环境的修改和激光束的成型.
- 微/纳米级处理SiC设备.
主要成果:
- 五秒激光器可以实现高精度加工SiC.
- 有不同的方法可用于SiC加工.
- 对于秒激光处理的SiC,有许多应用.
- 最近的进展表明该领域取得了重大进展.
结论:
- 五秒激光处理是先进SiC制造的关键技术.
- 需要持续的研究来克服现有的挑战.
- 该领域对未来的SiC设备开发具有重大前景.
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