使 (ExASPICE)

Mostafa Agour1,2, Claas Falldorf1, Ralf B Bergmann1,3

  • 1BIAS-Bremer Institut für angewandte Strahltechnik, 28359 Bremen, Germany.

PubMed
概括

使用SPICE profilometry测量微件的形状测量通过使用多个LED照明方向来增强. 这种新的方法通过克服光圈限制来提高测量精度,提供更快,更强大的3D成像解决方案.