高亮度微型LED的增强接触性能通过ITO/Al阳极堆和回火过程
Zeyang Meng1, Chaoyu Lu2, Guanghua Wang3,4,5
1School of Materials and Energy, Yunnan University, Kunming, 650091, China.
Scientific reports
|May 27, 2024
概括
在使用化 (GaN) 的微型发光二极管 (微型LED) 中优化阳极接触至关重要. 在500°C下在5分钟内对特定的电极结构进行火,显著提高了微型LED的性能,实现了高亮度和效率.
科学领域:
- 固态照明和显示器
- 半导体设备物理学 半导体设备物理
- 光电子学的材料科学.
背景情况:
- 微型发光二极管 (微型LED) 提供高光效率,亮度和可靠性.
- 在微型LED中实现最佳性能取决于与P-GaN层的有效阳极接触.
研究的目的:
- 为了研究电极结构设计对微型LED阳极接触的影响.
- 为了确定优化火条件以提高设备性能.
主要方法:
- 一个9.1微米的微LED设备的制造,具有特定的ITO/Ti/Al/Ni/Cr/Pt/Au电极结构.
- 优化回火参数,包括温度 (500°C),持续时间 (5分钟) 和大气 (Ar气).
主要成果:
- 优化的Micro-LED设备显示了显著改善的阳极接触性能.
- 达到10.9mA的电流和298,628cd/m2的亮度在5V.
- 优化的设备在400 mA时达到10.06%的外部量子效率 (EQE) 峰值.
结论:
- 该研究成功优化了基于GaN的微型LED的阳极接触结构和回火过程.
- 这些发现为提高下一代显示技术的性能和可靠性提供了一条途径.


