净化和制备纯SiC与切割废弃物
Shengnan Jiang1, Yilong Wang1, Baojie Zhang1
1School of chmical engineering and machinery, Liaodong University, Dandong, 118003, China.
Journal of environmental management
|June 8, 2024
概括
将切割废物 (SCW) 回收成碳化 (SiC) 对于可持续性至关重要. 超声波辅助的酸液有效净化SiC,在最佳条件下达到99.38%的铁去除率.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 化学工程是化学工程的重要组成部分.
- 环境科学 环境科学
背景情况:
- 切割废物 (SCW) 在半导体制造中带来了环境挑战.
- 回收SCW对于资源效率和减少该行业的生态足迹至关重要.
- 碳化 (SiC) 是一种有价值的材料,具有多种工业应用.
研究的目的:
- 使用SCW进行SiC制备.
- 为了研究和优化超声波辅助出用于SiC净化.
- 为了确定混合酸 (HF/H2SO4) 在去除杂质方面的效率.
主要方法:
- 从SCW中制备SiC的方法.
- 使用混合酸系统 (HF/H2SO4) 进行超声波辅助浸出.
- 化参数的优化:酸比,度,温度,超声波频率/功率和速度.
主要成果:
- 混合酸 (HF/H2SO4) 有效地去除了Fe和SiO2杂质.
- 超声波显著增强了Fe漏,增加了速度,降低了温度.
- 在最佳条件下,铁的浸率达到99.38%.
- 动力学分析表明化学反应控制的浸出过程.
结论:
- 可有效地回收生产SiC的SCW.
- 超声波辅助水是一种高效的方法来净化SiC.
- 优化的漏参数确保了高的杂质去除率和工艺效率.


