lithography

Applied optics
|June 10, 2024
PubMed
概括

这项研究引入了一种新的自动对焦方法,使用十字线投影来进行激光直接写作光刻. 这种技术增强了图像信息,使精确的焦平面检测和精确的样本聚焦成为可能.