概括
本研究介绍了一种精确的方法,用于使用可调节激光和交叉相关算法测量多层光学厚度. 该技术实现了高精度,测量结果显示标准偏差低于1.5nm.
科学领域:
- 光学是什么?光学是什么?光学是什么?
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 计量学 计量学 计量学
背景情况:
- 在多层样本中精确测量光学厚度对于各种应用至关重要.
- 现有的方法可能在精度和适用于复杂结构方面的局限性.
- 法布里-佩罗特复合传感器为先进的光学传感技术提供了灵感.
研究的目的:
- 开发和验证一种高精度的方法,用于测量多层光学样本中单个层的光学厚度.
- 利用可广泛调节的调制格子Y分支 (MG-Y) 激光和交叉相关算法来提高测量准确性.
- 在双层玻璃堆样本上证明拟议方法的有效性.
主要方法:
- 使用可广泛调节的调制格子Y分支 (MG-Y) 激光器从多层样本中获取干扰光谱.
- 采用快速里叶变换 (FFT) 算法和有限脉冲响应 (FIR) 带通波器来分离光谱频率组件.
- 使用希尔伯特变换重建了正常化的光谱,并应用了交叉相关算法来精确地确定光学厚度.
主要成果:
- 成功测量了双玻璃堆样中的每个层的光学厚度,并且非常精确.
- 证明了卓越的测量可重复性,在150次连续测量中标准偏差低于1.5nm.
- 在多层光学厚度计量学中验证了交叉相关算法的优势.
结论:
- 拟议的方法结合了可调节的MG-Y激光器和交叉相关算法,为多层光学厚度测量提供了高度精确的方法.
- 该技术有效地从多层结构中的单个层中分离和分析干扰光谱.
- 交叉相关算法对于在多层膜中实现准确和可重复的光学厚度测量具有优势.
