相关实验视频
Updated: Apr 11, 2026

08:21
Wideband Optical Detector of Ultrasound for Medical Imaging Applications
Published on: May 11, 2014
10.8K
用可切换脉冲激光干扰计对超宽带宽的微振动和 Femtometer 噪声进行动态成像,使用可切换脉冲激光干扰计
Optics express
|June 11, 2024
概括
这项研究引入了一种新的脉冲激光干扰测量系统,用于在宽带宽上成像微振动. 该系统在微电子机械系统 (MEMS) 分析方面实现了前所未有的分辨率.
科学领域:
- 物理 物理学 物理
- 工程 工程师 工程师 工程师
- 材料科学 材料科学 材料科学
背景情况:
- 研究微振动对于微电子机械系统 (MEMS) 至关重要.
- 由于光电探测器噪声和电磁干扰,现有的方法在GHz频率上实现宽带宽和低噪声方面面临挑战.
研究的目的:
- 开发一种脉冲激光干扰测量系统,能够对GHz振动进行成像.
- 为了能够同时测量低频振动.
- 为了实现MEMS分析的高分辨率和宽带宽.
主要方法:
- 一个脉冲激光干扰测量系统,利用GHz振动的光学混合.
- 一个可适应的开关,可以无地过渡到低频度测量的同质方案.
- 从直流到10 GHz的噪声功率光谱密度的表征.
主要成果:
- 在GHz频率下达到30.8 fm/√Hz的平均噪音底线,代表了迄今为止最高的分辨率.
- 成功地为kHz和GHz的MEMS设备绘制了振动振幅和相位.
- 展示了跨越10个数量级的带宽的成像.
结论:
- 拟议的系统克服了在高频率中成像微振动的局限性.
- 这项技术为分析具有特殊分辨率和带宽的多种MEMS设备提供了一个新的范式.
- 这些发现为MEMS的高级表征和开发铺平了道路.

