用可切换脉冲激光干扰计对超宽带宽的微振动和 Femtometer 噪声进行动态成像,使用可切换脉冲激光干扰计

Optics express
|June 11, 2024
PubMed
概括

这项研究引入了一种新的脉冲激光干扰测量系统,用于在宽带宽上成像微振动. 该系统在微电子机械系统 (MEMS) 分析方面实现了前所未有的分辨率.