超敏感的光机械应变传感器

Optics express
|June 11, 2024
PubMed
概括

我们开发了一种超敏感的光机械应变传感器,使用化 (SiN) 膜和Fabry-Perot腔. 这种传感器可以实现高分辨率的静态和动态应变测量,无需复杂的设备.