概括
我们为集成纳米光子设备开发了一种新的混合3C-碳化-酸 (3C-SiC-LN) 平台. 该平台使低电压长度产品能够使用高效的电光相变器,为先进的光子应用铺平了道路.
科学领域:
- 纳米光子学 纳米光子学
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 集成光学 集成光学 集成光学
背景情况:
- 开发用于集成纳米光子设备的新平台对于推进光学技术至关重要.
- 混合材料平台通过结合不同材料的特性来提供独特的优势.
研究的目的:
- 为了展示一个新的混合3C-碳化-基酸 (3C-SiC-LN) 平台,用于集成的纳米光子设备.
- 使用这种混合平台制造和描述一个电光 (EO) 相位变速器.
主要方法:
- 晶圆粘合3C-SiC和LiNbO3 (LN) 来创建混合平台.
- 蚀刻SiC层,并使用形设计进行光学模式的分布.
- 制造基于赛道共振器的EO相移器,使用SiC共振器和LN进行EO效应.
主要成果:
- 混合3C-SiC-LN平台使两层材料之间高效的光学模式分配成为可能.
- 基于赛道共振器的EO相变器展示了高效的共振波长调节.
- 通过利用 LN (r33 ≈ 27 pm/V) 的强烈 EO 效应,实现了低电压长度产物 (Vπ.Lπ ≈ 2.18 V cm).
结论:
- 混合3C-SiC-LN平台是制造高性能被动和活性纳米光子设备的可行解决方案.
- 这个平台促进了高速,低功耗和小型化的光子设备的开发.
- 潜在的应用涵盖了可见到红外波长的经典和量子纳米光子学.
