通过SEM确保纳米粒子尺寸测量的计量可追溯性的战略
Nicolas Feltin1, Alexandra Delvallée1, Loïc Crouzier1
1Laboratoire National de Métrologie et d'Essais (LNE), 29 Avenue Roger Hennequin, CEDEX, 78197 Trappes, France.
Nanomaterials (Basel, Switzerland)
|June 13, 2024
概括
使用扫描电子显微镜 (SEM) 确定纳米粒子尺寸的测量可追溯性是一项挑战. 本研究详细介绍了SEM纳米粒子计量学的校准程序和不确定性评估方法,解决了初级电子能量和边缘效应.
科学领域:
- 计量学 计量学 计量学
- 纳米技术纳米技术
- 材料科学 材料科学 材料科学
背景情况:
- 测量可追溯性对于不同仪器和运营商的可靠和可比数据至关重要.
- 使用电子显微镜精确确定纳米粒子大小是一个重大的计量挑战.
- 可追溯性,不确定性评估和电子样本相互作用在实验室纳米粒子计量学中经常被忽视.
研究的目的:
- 描述纳米粒子尺寸测量的校准程序在国家测量与试验实验室 (LNE).
- 通过扫描电子显微镜 (SEM) 提出一种评估方法,用于确定纳米粒子大小测量的不确定性.
- 调查初级电子能量和加速电压对测量可靠性的影响,并解决边缘效应.
主要方法:
- 在LNE建立的SEM仪表校准程序的详细描述.
- 开发一种评估测量不确定性的方法,考虑仪器,操作人员,样品和环境.
- 分析初级电子 (PE) 能量和加速电压对纳米粒子大小测量的影响.
主要成果:
- 该研究量化了初级电子能量和加速电压对SEM纳米粒子尺寸测量的可靠性的影响.
- 由纳米粒子和基质信号的卷积产生的边缘效应被确定为测量误差的来源.
- 这里提供了一个全面的图表,概述了在SEM纳米粒子尺寸测量中建立可追溯性的阶段.
结论:
- 拟议的校准和不确定性评估方法提高了基于SEM的纳米粒子尺寸测量的可靠性.
- 解决诸如初级电子能量和边缘效应等因素对于精确的纳米粒子计量学至关重要.
- 开发的可追溯性框架和图表旨在协助未来的运营商在SEM纳米粒子尺寸的确定.
