基于缺陷补偿数字全息图的超高精度激光纳米打印,用于快速制造的光学金属镜头

科学领域:

• 光学和光子学 在光学和光子学.
• 纳米技术 纳米技术
• 材料科学 材料科学 材料科学

背景情况:

• 数字全息3D结构光场迅速制造立体纳米结构.
• 调制焦点中的强度缺陷 微/纳米设备制造中的有限精度.

研究的目的:

• 开发一种用于超高精度制造光学金属透镜的补偿方法.
• 为了克服数字全息制造中强度波动的局限性.

主要方法:

• 适应空间声素密度,以提高激光累积暴露剂量的均性.
• 利用基于数字微镜设备 (DMD) 的数字全息图进行制造.

主要成果:

• 在制造的柱子中实现了从94.4%增加到97.6%的尺寸均性.
• 启用了分衍射聚焦金属镜片,并改进了主叶-侧叶比率 (1:0.14).
• 在2.5分钟内制造了一个6x5超临界镜头阵列.

结论:

• 空间voxel密度适应方法显著提高了光学金属制造的精度.
• 这种方法促进了先进的光子设备的快速大规模制造.