基于Cr/Sc的多层镜子的优化,用于水窗软X射线

概括

为水窗 (284543 eV) 开发高效的多层镜子是一项挑战. 一种新的CrN/B4C/Sc涂层实现了32%的反射率,大大改善了现有的X射线显微镜的Cr/Sc镜.