Yosuke Hanawa1, Jianliang Zhang2, Agus P Sasmito3

  • 1SCREEN Holdings Co., Ltd., Kyoto 612-8486, Japan.

ACS omega
|June 17, 2024
PubMed
概括

了解基板上的环醇固化是半导体制造的关键. 这项研究揭示了冷却速度和表面模式如何在这个关键的干燥过程中显著影响晶体核形成.