WRBF,

Yan Li1, Piao Fan1, Zhenguo Zhang2

  • 1School of Electrical and Electronic Engineering, Changchun University of Technology, Changchun 130012, China.

概括

这项研究引入了压电执行器的新控制方法,实现了40nm以下的精度. 动态滑动模式控制与辐射基础功能神经网络增强了稳定性,并减少了时间延迟效应,以实现精确的定位.