微结构辅助晶圆尺度制造矿微激光阵列的微结构辅助晶圆尺度制造
Yike Tan1, Liuli Yang1, Hao Song1
1Hunan Institute of Optoelectronic Integration, College of Materials Science and Engineering, Hunan University, Changsha, Hunan, 410082, China.
Small (Weinheim an der Bergstrasse, Germany)
|June 18, 2024
概括
研究人员开发了一种用于晶圆尺度制造矿微结构的新方法,用于芯片上的光源. 这种技术使得可控生产具有低激光值的CsPbX3/Ag等离子微激光器.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 光电学是指光电子产品.
- 纳米技术纳米技术
背景情况:
- 完全无机的化 Perowskites 显示出由于其光学特性,对芯片上激光的承诺.
- 目前在晶圆尺度制造矿微结构的局限性阻碍了它们在设备中的集成.
研究的目的:
- 开发一种可控制的,晶圆尺度制造矿微结构的方法.
- 为了证明这些微观结构作为高效的芯片内光源的潜力.
主要方法:
- 使用微观结构模板辅助结晶方法与化学蒸气沉积.
- 在4英寸晶圆上制造的同质矿微半球体 (PeMH) 阵列.
- 在混合腔内创建了CsPbX3/Ag (X = Cl, Br) 等离子微激光器.
主要成果:
- 在整个晶圆上实现了统一的PeMH阵列的可控制造.
- 已证明CsPbX3/Ag等离子微激光器具有低值 (<10μJ cm−2).
- 通过PeMH直径调整等离子体共振和电磁模式来展示激光值的调制.
结论:
- 开发的方法可以大规模制造矿微结构.
- 全无机矿纳米结构对于集成芯片上的光源是有希望的.
- 低声画廊共振和增强等离子体的光物质相互作用有助于低激光值.
