Mo-W-C纳米复合材料薄膜的微结构,电气和三元机械性能
Kateryna Smyrnova1,2, Volodymyr I Ivashchenko1,3, Martin Sahul1
1Faculty of Materials Science and Technology in Trnava, Slovak University of Technology in Bratislava, 25, J. Bottu St., 917 24 Trnava, Slovakia.
Nanomaterials (Basel, Switzerland)
|June 26, 2024
概括
这项对Mo-W-C纳米复合材料薄膜的研究表明,双相纳米结构增强了电气性能,提高了硬度和耐磨性. 这些发现突显了它们对微机械设备和功率电子的潜力.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 纳米技术纳米技术
- 薄膜沉积的情况
背景情况:
- 纳米复合材料薄膜为先进的应用提供可调节的特性.
- 了解Mo-W-C电影中的结构-属性关系对于优化其性能至关重要.
研究的目的:
- 为了研究Mo-W-C纳米复合材料薄膜的相位组成和微观结构.
- 确定这些结构特征如何影响电气和三元机械性能.
- 评估这些薄膜对于微机械设备和功率电子设备的适用性.
主要方法:
- 用于薄膜沉积的双源磁铁子喷射.
- 分析相位组成和微观结构.
- 电气和三角力学性能测试.
主要成果:
- 薄膜在无形碳基质中呈现纳米粒 (β-(Mo2+W2) C或β-和α-(Mo+W) C相的混合物.
- 观察到跳动导电性,在双相结构中放松时间翻倍.
- 在没有热激活的情况下实现的道导电性.
- 在混合相的薄膜中,最佳硬度 (19-22 GPa) 和低摩擦力 (0.15-0.24).
结论:
- Mo-W-C 薄膜的相位组成和微观结构显著影响它们的电气和三极力学行为.
- 双相纳米结构提高了电导率和三元机械性能.
- Mo-W-C纳米复合材料薄膜对微机械设备和动力电子的应用具有前景.
