微/纳米传感器和执行器的设计和制造,第II卷

Weidong Wang1, Yong Ruan2, Zaifa Zhou3

  • 1School of Mechano-Electronic Engineering, Xidian University, Xi'an 710071, China.

Micromachines
|June 27, 2024
PubMed
概括

微电子机械系统 (MEMS) 传感器将传感元件与微电子集成在一起. 这项技术使微型设备适用于各种应用.