微/纳米传感器和执行器的设计和制造,第II卷
Weidong Wang1, Yong Ruan2, Zaifa Zhou3
1School of Mechano-Electronic Engineering, Xidian University, Xi'an 710071, China.
Micromachines
|June 27, 2024
概括
微电子机械系统 (MEMS) 传感器将传感元件与微电子集成在一起. 这项技术使微型设备适用于各种应用.
科学领域:
- 工程 工程师 工程师 工程师
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 电气工程 电气工程
背景情况:
- 微电子机械系统 (MEMS) 是小型化的关键技术.
- MEMS传感器将机械结构与基板上的电子电路相结合.
- 先进的制造技术对于MEMS传感器制造至关重要.


