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Weidong Wang1, Ruiguo Yang2, Min Liu1

  • 1School of Mechano-Electronic Engineering, Xidian University, Xi'an 710071, China.

Micromachines
|June 27, 2024
PubMed
概括

微电子机械系统 (MEMS) 使用先进的制造方法将各种微组件集成到芯片上. 这些系统使微型设备具有广泛的技术应用的各种功能.