相关实验视频
Updated: Jun 22, 2025
11:04
Control of Cell Geometry through Infrared Laser Assisted Micropatterning
Published on: July 10, 2021
3.4K
脉冲激光消去光吸收面膜层的特征 基于激光升降模式过程下的涂层厚度
Daehee Hyun1,2, Hee-Lak Lee1, Yoon-Jae Moon1,2
1Department of Mechanical Convergence Engineering, Hanyang University, Seoul 04763, Republic of Korea.
Micromachines
|June 27, 2024
概括
激光切除可以为电子产品中的透明氧化物薄膜提供精确的图案. 光束半径是实现高分辨率图案的关键,克服了传统方法的局限性.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 纳米技术 纳米技术
- 激光处理 激光加工
背景情况:
- 透明的氧化物层对于半导体,显示器和太阳能电池等电子设备至关重要.
- 传统的光刻法用于模拟这些片提出了诸多挑战,包括成本,化学污染和削减效应.
研究的目的:
- 为了研究面膜层在薄透明氧化物薄膜上形成图案的剥离特性.
- 为了确定这些材料无残留激光切除的最佳参数.
主要方法:
- 为了分析面具层的激光切除,进行了实验.
- 关键因素如光束半径,流量,重叠比率和涂层厚度系统地变化.
- 测定了剥离值,最小流动度和最小剥离线宽.
主要成果:
- 激光切除显示了高精度,高速度和薄膜的非接触性图案设计的潜力.
- 在透明氧化物中吸收率低,因此需要仔细选择参数,以获得有效的切除.
- 波束半径被确定为影响透明膜和基板可实现分辨率的关键因素.
结论:
- 激光切除是一种可行的替代方法,用于传统的模式透明的氧化物薄膜.
- 了解和控制像光束半径这样的参数对于在激光切除过程中实现高分辨率图案和无残留结果至关重要.
