基于FIB的检测器光敏感表面直接写MPA的方法
Anran Nie1,2, Zhenwei Qiu1, Xiaobing Sun1
1Key Laboratory of General Optical Calibration and Characterization Technology, Hefei Institutes of Physical Science, Chinese Academy of Sciences, Hefei 230031, China.
Sensors (Basel, Switzerland)
|June 27, 2024
概括
我们开发了一种新的焦平面 (DoFP) 偏振探测器,通过直接将微偏振阵列写入传感器上. 这种创新方法增强了航空航天极度测量能力,并证明了未来探测器集成的可行性.
科学领域:
- 光学和光子学 在光学和光子学.
- 航空航天工程 航空航天工程
- 材料科学 材料科学 材料科学
背景情况:
- 聚焦平面分部 (DoFP) 极化探测器对于航空航天应用至关重要.
- 目前的商业DoFP探测器对各种卫星有效载荷要求有局限性.
研究的目的:
- 提出和演示一种用于制造DoFP偏振探测器的新方法,适用于特定的航空航天任务.
- 通过将微极化器阵列直接集成到探测器表面来解决现有的商业探测器的局限性.
主要方法:
- 使用聚焦离子束 (FIB) 在探测器表面上直接写入微极化器阵列 (MPA).
- 一个推扫扫描DoFP极化探测器的制造.
- 实验测试以验证可行性和低交叉声.
- 描述和数值计算来分析灭绝率限制.
主要成果:
- 证明了拟议的制造方法的可行性.
- 在制造的DoFP偏振探测器中实现了低交叉声.
- 确定了氧化作为低灭绝率的原因,得到了表征和计算的支持.
结论:
- 基于FIB的MPA集成方法是航空航天领域定制DoFP偏振探测器的可行解决方案.
- 这些发现为优化灭绝率提供了洞察力,并建议更广泛的应用,用于将地表结构与探测器集成在一起.
