获得块共聚物垂直方向的基质中立性
Kaitlyn Hillery1, Nayanathara Hendeniya1, Shaghayegh Abtahi1
1Department of Materials Science and Engineering, Iowa State University, Ames, IA 50011, USA.
接种的聚合物刷可以为区块共聚合物 (BCP) 自组装创建中性表面,从而为半导体制造提供精确的纳米图案. 对基质中立性和可行性进行了审查,对各种共聚合物和同聚合物刷方法进行了审查.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 纳米技术 纳米技术
- 表面化学 表面化学
背景情况:
- 块共聚合物 (BCP) 自组装为半导体制造中的高分辨率纳米图案提供了分子精度.
- 植入的聚合物刷对于创建控制BCP方向的中性表面至关重要.
研究的目的:
- 审查调整基板-BCP接口到中性模板的方法.
- 为实现基质中立性提供聚合物刷技术的历史视角.
主要方法:
- 探索共聚合物方法:端移植随机共聚合物,侧组移植链,交叉连接的子,和块 cooligomer 刷.
- 混合同聚合物方法的检查:顺序接种和BCP兼容剂以克服宏相分离.
主要成果:
- 已经开发了各种聚合物刷架构,以实现BCP自组装的基板中立性.
- 同聚合物混合物,尽管面临挑战,但通过创新的接种技术,提供了一条通过创新的接种技术轻松获得中性模板的途径.
结论:
- 选择聚合物刷方法会影响纳米图案的中性性和可行性.
- 接口工程的持续发展对于推进基于BCP的半导体制造至关重要.
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