在PMMA薄膜中对Al2O3的连续透合成:通过操作光谱圆测量进行温度调查

Alessia Motta1,2, Gabriele Seguini1, Claudia Wiemer1

  • 1Unit of Agrate Brianza, CNR-IMM, Via C. Olivetti 2, I-20864 Agrate Brianza, Italy.

概括

研究了氧化在PMMA薄膜中的顺序透合成 (SIS). 确定了三甲基的扩散系数和激活能量,进步了SIS过程的理解.

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