,10nm

Shinsuke Maekawa1, Takehiro Seshimo2, Takahiro Dazai2

  • 1Department of Materials Science and Engineering, School of Materials and Chemical Technology, Tokyo Institute of Technology, Tokyo, 152-8552, Japan.

PubMed
概括

化学定制块共聚合物 (BCP) 通过定向自组装实现10nm以下特征印刷. 这项研究实现了7.6纳米半径线图案,克服了纳米级应用BCP光刻的挑战.