精确的光电化学调半导体微光盘激光器
Debarghya Sarkar1, Paul H Dannenberg1,2, Nicola Martino1
1Harvard Medical School and Wellman Center for Photomedicine, Massachusetts General Hospital, 65 Lansdowne St., Cambridge, Massachusetts 02139, United States.
Advanced photonics
|July 12, 2024
概括
我们开发了一种光电化学 (PEC) 蚀刻技术,以精确控制微光和纳米光盘激光器的激光波长. 这种可扩展的方法确保了纳米光子和生物医学应用的决定性波长.
科学领域:
- 纳米光子学和光电子学
- 半导体物理 半导体物理
背景情况:
- 微型和纳米磁盘激光器对于芯片上和自由空间应用至关重要.
- 标准的纳米制造导致随机的磁盘直径,阻碍了决定性的波长控制.
研究的目的:
- 开发一种精确的方法来调整微型和纳米磁盘激光器的激光波长.
- 为了应对磁盘激光制造中决定性波长选择的挑战.
主要方法:
- 开发了一种新的光电化学 (PEC) 蚀刻技术.
- 研究了硫酸中复合半导体的PEC机制和蚀刻速率.
- 该技术用于制造具有可调节波长的微型和纳米盘激光器.
主要成果:
- 实现了激光波长的精确调整,精确度低于纳米.
- 成功生产了具有明显,决定性的发射波长的微型和纳米盘激光器.
- 证明了PEC蚀刻技术的可扩展性.
结论:
- 开发的PEC蚀刻技术可以精确控制微光和纳米光盘激光波长.
- 这种可扩展的方法可以制造具有特定发射波长的激光组.
- 该技术适用于各种纳米光子和生物医学应用,需要可调节激光器.
