CeO₂膜的原子层沉积具有一种新型异体质的Ce(III) 复合体

科学领域:

• 无机化学 无机化学
• 材料科学 材料科学 材料科学
• 纳米技术 纳米技术

背景情况:

• 对于先进的材料应用,正在探索异体质 (III) 复合物.
• 开发用于原子层沉积 (ALD) 的高效前体对于薄膜制造至关重要.

研究的目的:

• 为了合成和表征新的异体质 (III) 复合物.
• 评估这些复合物的适用性,作为氧化 (CeO2) 通过ALD.通过薄膜沉积的前体.
• 调查连接体结构和与离子复合的能力之间的相关性.

主要方法:

• 合成四种异构体Ce (III) 复合物:Ce (thd) 3-,Ce (thd) 3-MEDA,Ce (thd) 3-MOMA,以及Ce (thd) 3-DMDE.
• 使用1H-NMR,元素分析和X射线单晶衍射进行了表征.
• 热重力测量分析和蒸汽压力测量以评估热稳定性和挥发性.
• 在SiO2/Si (100) 基板上使用Ce(thd) 3-MEDA (复合2) 的CeO2薄膜的原子层沉积 (ALD).

主要成果:

• 成功合成并阐明了四种不同的异构体Ce (III) 复合物的结构.
• 热重力测量分析和蒸汽压力数据表明,与含的双酸连接体相比,与混合氧-连接体相比,具有更强的复合性.
• 复合物2 (Ce(thd) 3-MEDA) 显示出自我限制的沉积特性,适合ALD.
• 在SiO2/Si (100) 晶圆上沉积一个CeO2膜,使用复杂2实现了.

结论:

• 配体的选择显著影响了与离子的复合能力.
• 已确定Ce(thd) 3-MEDA (复合体2) 为氧化薄膜原子层沉积的有前途的前体.
• 这项研究有助于开发用于高性能薄膜应用的新型前体.