垂直的InGaN发光二极管与混合分布式布拉格反射器
Guo-Yi Shiu1, Ying Ke1, Kuei-Ting Chen1
1Department of Materials Science and Engineering, National Chung Hsing University, Taichung 402202, Taiwan.
ACS omega
|July 22, 2024
概括
这项研究介绍了一种新的垂直类型的InGaN发光二极管 (LED),用于共振腔的混合分布式布拉格反射器 (DBR). 这种设计增强了光发射特性,为先进的LED应用铺平了道路.
科学领域:
- 光电学是指光电子产品.
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 半导体物理 半导体物理
背景情况:
- 垂直类型的InGaN LED对于各种照明和显示应用至关重要.
- 在LED中实现高效的光提取和定向发射仍然是一个挑战.
- 响应腔和先进的反射器结构是提高LED性能的关键.
研究的目的:
- 用混合分布式布拉格反射器 (DBRs) 来演示具有共振腔的垂直类型的InGaN LED.
- 为了研究一个多孔的GaN DBR结构对LED性能的影响.
- 探索方向发射和垂直腔表面发射二极管激光应用的潜力.
主要方法:
- 一个垂直类型的InGaN LED的制造,其光圈为9μm,空腔短.
- 表轴结构的设计和使用电化学蚀刻来创建多孔的GaN DBR.
- 采用激光升起过程,用于独立的膜制造和DBR反转.
主要成果:
- 一个混合DBR结构,将多孔GaN和介电层相结合,成功实现了.
- 响应腔显著减少了物理腔的长度,达到0.74微米.
- 排放特性得到了显著的改善,分离角度从124°减少到44°,线宽缩小到3.3 nm.
结论:
- 开发的带有混合DBR的膜型LED具有出色的垂直电流注入和改进的光学性能.
- 该设备显示了对定向光源的巨大潜力.
- 这项技术可以应用于垂直腔表面发射二极管激光器.


