压电微声学元材料过器 压电微声学元材料过器

科学领域:

• 声学超材料是一种声学超材料.
• 微声学是一种微声学.
• 无线电频率 (RF) 设备的使用

背景情况:

• 传统的微声学过器依赖于合的声学共振,需要精确的高分辨率修剪来调节频率.
• 现有的方法往往涉及复杂的制造步骤,如质量加载或精细控制层厚度,特别是对于GHz过器.

研究的目的:

• 介绍和描述第一个微声学元材料过器 (MMF),该过器利用声学元材料结构来产生带通量.
• 为了证明对基于共振器的过器的替代方案,简化制造和调过程.

主要方法:

• 设计和制造的MMF使用400纳米的胺化 (AlScN) 薄膜,其中30%的剂.
• 采用了三种声学元材料 (AM) 结构的链:一个AM传输线 (AMTL) 和两个AM反射器 (AMR).
• 使用有限元素建模 (FEM) 模拟和制造设备的实验测量验证的性能.

主要成果:

• 制造的MMF在射频范围内运行,以超高频范围的中心频率显示波器响应.
• 实现了大约2.54%的分数带宽 (FBW),损失约为4.9dB.
• 观察到带内群延迟为70 ± 25 ns,温度频率系数 (TCF) 约为22.2 ppm/°C.

结论:

• 微声超材料过器 (MMF) 通过利用AM结构,为传统的微声过器提供了可行的替代方案.
• 货币货币基金消除了对高分辨率修剪和大规模装载步骤的需求,简化了制造.
• 这些过器在射频应用中表现出有希望的性能,带宽由AM结构几何和材料特性决定.