MEMS西:,-

Basma Elsaka1, Xiaohui Yang1, Philipp Kästner1

  • 1Institute of Nanostructure Technologies and Analytics (INA), Technological Electronics Department, University of Kassel, Heinrich-Plett-Straße 40, 34132 Kassel, Germany.

PubMed
概括

卡西米尔力在纳米级距离上变得显著,使表面之间具有吸引力或排斥力的相互作用成为可能. 本综述探讨了材料,几何和方法,重点介绍了微型和纳米电机系统中的应用.