在喷铜-三明治目标时对基板的热流的研究

科学领域:

• 材料科学 材料科学 材料科学
• 等离子体物理学的物理学
• 热力工程是热力工程中的一个.

背景情况:

• 磁铁子喷雾对于薄膜沉积至关重要.
• 了解目标加热对于过程控制和电影质量至关重要.
• 新型目标设计需要详细的热分析.

研究的目的:

• 为了研究两层三明治目标在磁铁喷射期间的热流动力学.
• 在不同的放电功率下分析铜目标的热行为.
• 应用COMSOL多物理来模拟喷雾中的热过程.

主要方法:

• 使用COMSOL多物理进行数值建模.
• 应用一个二维均的里埃方程来描述目标板的加热.
• 模拟了外部板块作为一系列的表面热源.
• 从400到1200W的各种放电功率.

主要成果:

• 确定了外板表面温度分布对放电功率的依赖.
• 确定了热过程中以前未知的特征.
• 证明了数值建模准确地反映了实验结果.

结论:

• 这项研究提供了对新型磁铁子喷射目标的热动态的见解.
• COMSOL多物理是分析这些复杂的热过程的合适工具.
• 这些发现有助于优化喷雾参数,以改善薄膜沉积.