具有高声超负荷点和电控灵敏度的压电微加工麦克风
Libor Rufer1, Josué Esteves2, Didace Ekeom3
1ADT MEMS, 360 Rue Taillefer, F-38140 Rives, France.
Micromachines
|July 27, 2024
概括
与电容式MEMS麦克风相比,压电微电子机械系统 (MEMS) 麦克风提供了更好的声学过载点. 这种压电方法简化了设计和制造用于高水平声场测量.
科学领域:
- 声学 声学 在声学上
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 电气工程 电气工程
背景情况:
- 容量微电机系统 (MEMS) 麦克风是先进的,但在声学过载点 (AOP) 上有局限性.
- 测量高水平声场需要具有超越当前电容MEMS技术性能增强的麦克风.
研究的目的:
- 提出并讨论压电MEMS麦克风作为测量高水平声场的解决方案.
- 在MEMS麦克风设计中探索压电合相对于电容合的优势.
主要方法:
- 使用化的压电效应制造新的MEMS麦克风.
- 压电结构的设计变化和电控灵敏度的研究.
主要成果:
- 压电MEMS麦克风消除了固定电极的需要,简化了设计和制造.
- 这种方法显示了显著改善声学过载点 (AOP) 的潜力.
结论:
- 压电式MEMS麦克风为高水平声学测量提供了电容式MEMS麦克风的有希望的替代品.
- 该技术适用于恶劣的环境应用,并允许可调节的灵敏度.
