基于超声波毛细管效应的固定钻石线切片工作流体供应的实验研究
Junying Zhao1, Luqi Shen2, Chunwei Zhang1
1Mechanical and Electrical Engineering, Luoyang Polytechnic, Luoyang 471942, China.
Micromachines
|July 27, 2024
概括
超声波毛细管作用改善了切割流体供应在薄晶圆切片. 这种进步提高了光伏制造的效率并降低了成本.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 制造业 工程 制造工程
- 可再生能源技术可再生能源技术
背景情况:
- 薄晶片和线材对于降低成本和提高光伏行业效率至关重要.
- 目前的太阳能晶片切割方法在向狭窄的隙 (<50微米) 供应切割液方面面临挑战,这会影响性能.
研究的目的:
- 调查超声波毛细管作用的使用,以增强固定钻石线切片的切割流体供应.
- 探索影响超声波毛细血管作用的因素,以改善晶圆切片的工业应用.
主要方法:
- 研究了平行板之间的超声波毛细血管作用.
- 分析了板距离,超声波表面距离,板非平行,流体温度,作用时间和流体类型对液体水位上升的影响.
主要成果:
- 证明超声波可以产生毛细血管效应以改善液体供应.
- 确定了影响超声波毛细血管液体水平上升高度的关键参数.
结论:
- 超声波毛细管作用是一种可行的方法,可以改善切割液在薄片切割中的传递.
- 这些发现为优化固定钻石线切片工艺中的工作流体供应提供了指导.


