纵向超声波振动辅助平方法用于处理微型金字塔阵列.
Jiashun Gao1,2, Zhilong Xu2,3, Bicheng Guo3
1Xiamen Ocean Vocational College, Xiamen 361000, China.
Micromachines
|July 27, 2024
概括
一种新的纵向超声波振动辅助平面化 (LUVP) 方法显著降低了微金字塔阵列 (MPA) 的表面粗和边缘. 这一进步提高了光学元件的精度,并为优质的微型金字塔塑料薄膜奠定了基础.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 光学工程是指光学工程.
- 制造业 制造技术 制造技术
背景情况:
- 微金字塔阵列 (MPA) 对于高精度光学元件,如捕光和反射膜至关重要.
- 在MPA上的表面粗和边缘凸降低了这些元素的光学性能.
研究的目的:
- 开发一种用于处理海洋保护区的新方法,以尽量减少表面粗和边缘形.
- 为了比较新方法的有效性与传统的精密平技术.
主要方法:
- 开发和实施一个纵向超声波振动辅助平 (LUVP) 实验平台.
- 使用LUVP处理的MPA的比较分析与精密规划.
主要成果:
- 通过LUVP方法,在19.85kHz的操作频率下,实现了工具鼻幅度为3.3μm.
- 与精密平相比,LUVP处理的MPA表现出表面粗度降低,边缘痕越来越少,钻石工具磨损最小.
- 通过LUVP生产的MPA没有显示表面波纹.
结论:
- LUVP是一种高效的方法,用于制造具有提高表面质量的高精度MPA.
- 这项研究为开发具有增强光学性能的先进微金字塔塑料薄膜提供了基础技术.


