基于的光学相位阵列中的纵向辐射角度的高效热光学控制,通过利用后侧空气沟结构来实现

科学领域:

• 光子学和光学工程 光子学和光学工程
• 半导体设备物理 半导体设备物理

背景情况:

• 光学分相阵列 (SOPA) 对于光束转向应用至关重要.
• 传统的SOPA在调整效率和转向范围方面存在局限性.
• 热光学效应通常用于光子学中的光操纵.

研究的目的:

• 提出和演示一个具有增强调效率的2D 1×64光学相位阵列.
• 为了实现更大的纵向方向盘范围,使用了新的后侧蚀结构.
• 调查热光学效应对拟议SOPA中的光转向的影响.

主要方法:

• 一个2D 1×64光学相位阵列的制造.
• 通过热光效应实现n-i-n加热器用于纵向方向盘.
• 使用深度反应性离子蚀刻,从散热器阵列的后面创建一个600微米深的空气沟.

主要成果:

• 与传统结构 (0.78°/W) 相比,实现了1.56°/W的调效率,几乎是100%的增长.
• 展示了由后侧雕刻结构实现的广泛的纵向方向盘范围.
• 拟议的背面蚀刻结构显著提高了光学相位阵列的性能.

结论:

• 拟议的背面蚀结构为光学相位阵列的调效率提供了显著的改进.
• 这一进步使得各种光子应用中更有效的光转向成为可能.
• 开发的SOPA设计为下一代光束控制系统提供了一个有前途的解决方案.