基于超振荡光的二维超分辨率计量学

Yu Wang1, Eng Aik Chan2, Carolina Rendón-Barraza2

  • 1Optoelectronics Research Centre & Centre for Photonic Metamaterials, University of Southampton, Southampton, SO17 1BJ, United Kingdom.

概括

一种新的光学计量技术使用具有相异常的超振荡光来精确测量2D纳米结构. 这种无标签的方法超过了先进的半导体制造和材料表征的衍射极限.