兼容CMOS的重建光谱仪与自引用的集成Fabry-Perot共振器
Chunyu You1,2,3, Xing Li1,2,3, Yuhang Hu1,2,3
1Department of Materials Science & State Key Laboratory of Molecular Engineering of Polymers, Fudan University, Shanghai 200438, People's Republic of China.
概括
我们使用自适应算法和Fabry-Perot共振器开发了一种全新的小型重建光谱仪. 这种CMOS兼容的设备可以实现便携式应用的高分辨率光谱测量.
科学领域:
- 光学和光子学 在光学和光子学.
- 频谱学是一种光谱学.
- 微型制造业的微型制造
背景情况:
- 微型重建光谱仪对于便携式和芯片上的光谱分析至关重要.
- 现有的设备在算法参数控制和CMOS兼容性方面面临着挑战.
- 高分辨率光谱测量对于各种科学和工业应用至关重要.
研究的目的:
- 推出一种新的小型化重建光谱仪,解决当前技术限制.
- 为了展示一个CMOS兼容的光谱仪,提高精度和自我适应能力.
- 为商业化先进的微型光谱仪铺平道路.
主要方法:
- 集成一个自我适应的算法,引用Fabry-Perot共振器.
- 使用晶圆尺度互补金属氧化物半导体 (CMOS) 技术进行制造.
- 在可见光范围内进行光谱测试和性能评估.
主要成果:
- 获得了大约2.5纳米的光谱分辨率.
- 证明了平均波长偏差约为0.27nm.
- 获得了大约0.46%的分辨率与带宽比.
结论:
- 开发的光谱仪可以在可见范围内提供精确的光谱测量.
- CMOS 制造和自适应算法提高了稳定性和适用性.
- 这项技术促进了多功能和商业可行的小型化光谱仪的开发.
