在钻石光源开发先进的直线多层沉积系统

科学领域:

• 材料科学 材料科学 材料科学
• 薄膜技术 薄膜技术
• 真空系统工程真空系统工程

背景情况:

• 先进的光学涂层需要精确控制多层沉积.
• 现有系统可能在规模,统一性或自动化方面存在局限性.

研究的目的:

• 开发和委托一个新的,大规模的多层沉积系统.
• 为了实现高质量,统一的涂层要求严格的科学应用.

主要方法:

• 一个最先进的超高真空系统,配有4200毫米线性基板转换器.
• 使用八个矩形阴极,用于单层和多层涂层,直至2000毫米.
• 集成的现场诊断工具用于厚度统一和应力测量.
• 自动化存款流程与全面的数据记录.

主要成果:

• 在动态模式下,在1500毫米上显示出优异的0.26%的侧面薄膜厚度均性.
• 系统能够产生周期性,横向分级和深度分级的多层.
• 在负载锁室内,集成火过程可达700°C.

结论:

• 开发的多层沉积系统满足制造先进光学涂层的严格要求.
• 该系统适用于各种科学应用,特别是钻石光源的光线线.
• 自动化和现场诊断确保沉积膜的高质量和可靠性.