材料移除率的建模,用于固定磨砂双面行星磨砂的蓝宝石基板的材料移除率
Gen Chen1,2, Zhongwei Hu1,2, Lijuan Wang1,3
1Institute of Manufacturing Engineering, Huaqiao University, Xiamen 361021, China.
Materials (Basel, Switzerland)
|August 10, 2024
概括
本研究提出了一种新的材料去除速率 (MRR) 模型,用于蓝宝石基板的双面行星研磨 (DSPG). 该模型准确预测MRR,提高加工统一性和工艺效率.
科学领域:
- 材料科学与工程 材料科学与工程
- 制造过程 制造过程 制造过程
- 表面加工 表面加工 表面加工
背景情况:
- 使用固定磨料的双面行星研磨 (DSPG) 是蓝宝石基板制造的关键工艺.
- 现有的方法缺乏精确的材料去除率 (MRR) 预测,影响统一性和效率.
- 固定磨料DSPG在精度,效率和环境影响方面比自由磨料研磨具有优势.
研究的目的:
- 开发和验证一种新的材料去除率 (MRR) 模型,用于固定磨砂双面行星磨砂 (DSPG) 的蓝宝石基板.
- 在DSPG过程中分析影响MRR的关键因素.
- 通过优化表面之间的MRR差异来提高蓝宝石基板加工的均性.
主要方法:
- 基于磨料颗粒轨迹长度,有效粒度计数,缩深度和槽重复率的MRR理论建模.
- 在蓝宝石基板上使用DSPG机器进行实验验证.
- 理论预测与不同磨砂压力和旋转速度下的实验结果的比较分析.
主要成果:
- 开发的MRR模型显示出高精度,实验偏差在0.2%至39.2%之间.
- 理论预测显示出与实验结果的显著一致性.
- 该模型能够优化两个基板表面之间的MRR差异,提高加工统一性.
结论:
- 拟议的MRR模型是对蓝宝石基板的固定磨砂DSPG的有效和有效工具.
- 该模型为优化研磨参数提供了关键的见解,以实现均的材料去除.
- 这项研究有助于提高蓝宝石基板加工的精度和效率.
