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Updated: Jun 17, 2025

08:35
Hybrid Printing for the Fabrication of Smart Sensors
Published on: January 31, 2019
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直接使用SiCN/RuO2/TiB2复合陶油墨写字,用于高温薄膜传感器
Yusen Wang1, Lida Xu1, Xiong Zhou1
1Department of Mechanical and Electrical Engineering, Xiamen University, Xiamen 361102, China.
Materials (Basel, Switzerland)
|August 10, 2024
概括
一种新的SiCN/RuO2/TiB2陶墨水使极端环境的高性能的薄膜传感器具有成本效益. 这种直接的墨水写作方法确保了高达900°C的温度和热量流量测量的准确性.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 传感器技术 传感器技术
- 陶工程 陶工程 陶工程
背景情况:
- 高温传感器的直接墨水写作 (DIW) 对极端环境至关重要.
- 现有的油墨存在成本效益的权衡.
- 需要强大的高温传感解决方案.
研究的目的:
- 开发一个成本效益高,高性能陶墨水用于DIW.
- 为极端环境创建符合规格的薄膜传感器.
- 评估传感器在高达 900°C 的性能.
主要方法:
- 一种SiCN/RuO2/TiB2复合陶油墨的配方.
- 高温回火形成保护玻璃相 (B2O3和SiO2).
- 在金属基板上通过DIW制造薄膜传感器.
主要成果:
- SiCN/RuO2/TiB2薄膜显示了增强的密度,粘合力和抗RuO2挥发的抵抗力.
- 实现了高线性 (RT到900°C),稳定性 (0.1%/h在800°C) 和导电性 (4410 S/m).
- 成功展示了符合标准的温度和热流传感器,响应时间为53毫秒.
结论:
- 开发的油墨为高温传感器提供了高性能,高性价比的解决方案.
- 使用合规传感器监测极端环境的可行性.
- 在航空航天,能源和工业监测领域的应用潜力.

