以模拟为导向的分析,以优化沟深度,以提高灵活性,在灵活电子产品的无拉伸,形状诱导的互连中实现灵活
Daniel Joch1,2, Thomas Lang1, Shawn Sanctis2
1Si Special Devices Group, Research and Development Semiconductor Devices, Fraunhofer Institute for Integrated Systems and Device Technology IISB, Schottkystrasse 10, 91058 Erlangen, Germany.
Materials (Basel, Switzerland)
|August 10, 2024
概括
这项研究优化了平面制造用于灵活的,形状诱导的金属互连. 优化制造简化了生产,提高了结构灵活性,用于电子设备的应力和应变管理.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 电气工程 电气工程
- 纳米技术 纳米技术
背景情况:
- 无拉伸,形状诱导的金属互连对于灵活的电子产品至关重要.
- 目前用于这些互连的制造方法需要优化,以简化生产和提高灵活性.
研究的目的:
- 为了优化平面制造方案的无拉伸,形状诱导的金属互连.
- 为了最大限度地提高结构的灵活性,关于应力和张力.
- 为了简化制造过程.
主要方法:
- 使用光刻工艺在岛之间的沟中创建弧形的阻力模板.
- 使用数值模拟来研究沟深度对应力分布的影响.
- 通过改变旋转涂层速度来优化用电阻填充沟.
主要成果:
- 模拟表明,金属桥越来越多地透到沟中,将拉力负荷转换为剪切力,从而可能增加应变能力.
- 通过旋转速度变化实现了优化的阻力填充.
- 制造的金属桥梁表现出与理论电阻相一致的电流电压行为.
结论:
- 优化的平面制造方案成功地产生了灵活的电气互连.
- 岛桥阵列结构具有功能灵活性,适合各种电子应用.
- 沟深度是影响应力分布和整体结构灵活性的关键参数.
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