研究液相质量转移和喷射电沉积过程中的残余应力与同轴超声波振动的研究

Ke Zhai1, Feng Zhou1, Yifan Wang1

  • 1National & Local Joint Engineering Research Center of Metrology Instrument and System, College of Quality and Technical Supervision, Hebei University, Baoding 071002, China.

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概括

这项研究引入了同轴超声波振动,通过增强质量转移和减少残余应力来改善电子沉积. 该方法显著提高了质量转移速率,并降低了电层中的应力.