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Vigneshwar Sakthivelpathi1, Tianyi Li1, Zhongjie Qian1

  • 1Mechanical Engineering, University of Washington, Seattle, WA, USA 98195.

Sensors and actuators. A, Physical
|August 12, 2024
PubMed
概括

通过微电机系统 (MEMS) 和纳米技术增强的容量传感器,为检测物体和测量物理参数提供高灵敏度. 这篇评论详细介绍了它们的开发,制造和现代技术中的各种应用.