卷积神经网络辅助光电阻成型区分器,用于电子束 lithography 接触层的设计

Rongbo Zhao1, Yayi Wei2,3, Xiaolin Wang1

  • 1Institute of Nuclear and New Energy Technology, Tsinghua University, Beijing 100084, China.

概括

这项研究引入了一种用于电子束光刻技术的金属氧化物纳米粒子光电阻的新型分辨器. 它准确地确定了符合关键维度统一性和接触宽度要求的配方,简化了材料选择.