在动态干扰测量位移检测中信号生成
Knarik Khachatryan1, Simon Anter1, Michael Reichling1
1Institut für Physik, Universität Osnabrück, Barbarastr. 7, 49076 Osnabrück, Germany.
Beilstein journal of nanotechnology
|August 27, 2024
概括
本研究分析了无接触原子力显微镜 (NC-AFM) 中激光干扰仪的非线性反应. 我们表明,将模型与时间域信号相匹配,可以精确校准悬臂振荡幅度.
科学领域:
- 物理 物理学 物理
- 计量学 计量学 计量学
- 表面科学是一门学科.
背景情况:
- 激光干扰测量对于精确的位移测量至关重要.
- 在非接触式原子力显微镜 (NC-AFM) 中,干涉度测量测量了用于力传感的微型杆位移.
研究的目的:
- 为了研究NC-AFM中使用的迈克尔森型干扰仪中的非线性信号生成.
- 开发一种精确校准悬臂振荡幅度的方法.
主要方法:
- 评估干扰仪对在时间域内波悬臂位移的非线性响应.
- 将数学模型与测量的时间域干涉度信号相匹配.
主要成果:
- 随着悬臂振荡幅度的增加,由于空间周期性限制,干扰仪信号中会产生复杂的时间结构.
- 通过模型装配,可以精确地确定控制干涉计位移信号的所有参数.
- 证明了 2% 准确度的悬臂振荡幅度校准.
结论:
- 对非线性干扰仪响应的分析为NC-AFM表征提供了可靠的方法.
- 准确校准悬臂振荡幅度对于NC-AFM中可靠的力测量至关重要.


