Kang Wang1,2, Zhaoer Chai2, Yutang Pan1

  • 1Key Laboratory of MEMS of the Ministry of Education, Southeast University, Nanjing 210096, China.

PubMed
概括

一个新的S形微弹设计有效地抑制了射频微电力系统 (RF MEMS) 开关中的曲应力. 这一创新提高了微波性能和可靠性,使灵活的电子设备.