基于灵活基板的射频微电子机械系统开关的压力抑制设计
Kang Wang1,2, Zhaoer Chai2, Yutang Pan1
1Key Laboratory of MEMS of the Ministry of Education, Southeast University, Nanjing 210096, China.
Materials (Basel, Switzerland)
|August 29, 2024
概括
一个新的S形微弹设计有效地抑制了射频微电力系统 (RF MEMS) 开关中的曲应力. 这一创新提高了微波性能和可靠性,使灵活的电子设备.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 电气工程 电气工程
- 机械工程 机械工程
背景情况:
- 灵活的射频微机电系统 (RF MEMS) 开关面临着由基板曲引起的应力挑战.
- 这种压力会降低传统设计的性能和可靠性.
研究的目的:
- 为灵活的射频MEMS开关展示和演示一种新的压力抑制设计.
- 为了研究S形微弹结构在隔离曲应力方面的有效性.
主要方法:
- 制造带有S形微弹的RF MEMS开关,采用两步蚀刻工艺.
- 理论和实验研究来分析压力隔离和性能.
- 与不同基板曲率下的传统非微弹开关进行比较.
主要成果:
- 带有S形微弹的RF MEMS开关展示了优越的微波性能.
- 在不同的基板曲率下观察到稳定的驱动电压.
- 通过S形微弹和岛屿结构,成功地抑制了曲应力.
结论:
- S型微弹设计有效地减轻了灵活的射频MEMS开关中的曲应力.
- 这种设计为灵活的电子应用提供了更好的性能和可靠性.
- 这个概念可以适应其他灵活的设备.


