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Updated: Aug 12, 2026
08:29
Thermal Measurement Techniques in Analytical Microfluidic Devices
Published on: June 3, 2015
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一个大范围的扫描范围的电热微镜与基于热对流的位置传感器集成
Anrun Ren1,2, Yingtao Ding1,2, Hengzhang Yang1,2
1School of Integrated Circuits and Electronics, Beijing Institute of Technology, Beijing 100081, China.
Micromachines
|August 29, 2024
概括
这项研究引入了一种具有集成位置传感器的新型电热微镜,实现了大36°光学扫描角度. 这些MEMS设备为富里埃变换光谱仪系统提供精确的运动监测.
科学领域:
- 微电子机械系统 (MEMS) 是一种微电子机械系统.
- 光学工程是指光学工程.
- 传感器技术 传感器技术
背景情况:
- 传统的微镜通常具有有限的扫描范围.
- 准确的位置传感对于诸如富里叶变换谱仪 (FTS) 这样的应用至关重要.
- 在MEMS制造过程中集成传感器提供了制造优势.
研究的目的:
- 设计,模拟,制造和描述一个新的大范围扫描电热微镜.
- 将位置传感器集成到相同的MEMS过程流中.
- 为了证明微镜对于FTS应用的适用性.
主要方法:
- 使用Al/SiO2双形执行器来精确制造基于网格的微镜.
- 开发了基于热敏电阻的集成位置传感器,用于监测温度变化.
- 在不同的直流电压下,特征微镜位移和扫描角度.
- 对活塞位移和尖端倾斜运动的评价传感器灵敏度.
主要成果:
- 在6Vdc时,获得了36°的最大光学扫描角度和370μm的活塞位移.
- 经过证明的传感器灵敏度为0.3 mV/μm用于活塞位移和2.1 mV/°用于尖端倾斜传感.
- 证实传感器可以准确地识别微镜的全范围运动.
- 在单一的MEMS工艺流程中成功制造了微镜和传感器.
结论:
- 开发的电热微镜提供了广泛的扫描范围和精确的运动监控.
- 集成的位置传感器为微镜移动提供准确的反.
- 这项技术对推进基于MEMS的里叶变换光谱仪系统显示出重大前景.
