一种反射光模式多波长干扰仪,用于测量步骤高度标准
Dariusz Litwin1, Kamil Radziak1, Adam Czyżewski1
1Łukasiewicz Research Network-Tele and Radio Research Institute, 11 Ratuszowa St., 03-450 Warsaw, Poland.
Sensors (Basel, Switzerland)
|August 29, 2024
概括
这项研究引入了一种新的方法,用于使用可变波长干扰仪 (VAWI) 测量步骤高度标准. 该技术通过不断测量边缘时期和阶段来提高精度,从而提供了更好的计量潜力.
科学领域:
- 计量学 计量学 计量学
- 光学物理学 光学物理学
- 干涉测量是干涉测量的方法.
背景情况:
- 准确测量步骤高度标准对于纳米技术和半导体制造至关重要.
- 传统的干涉测量方法可以通过边缘分析技术来限制步骤高度测量.
研究的目的:
- 介绍可变波长干扰仪 (VAWI) 的新型应用,用于精确的阶段高度标准测量.
- 通过专注于边缘时期和阶段,引入一种分析干扰模式的新方法.
- 评估这种增强的VAWI技术的计量潜力.
主要方法:
- 使用在反射光模式下修改的可变波长干扰仪 (VAWI).
- 采用两个沃拉斯顿镜来产生干扰模式.
- 取代传统的边缘巧合搜索,与相对于零阶边缘的边缘周期和阶段的连续测量.
- 通过使用古典和统一厚度标准方法分析所得到的正弦形数据.
主要成果:
- 开发的VAWI方法为步骤高度标准提供了一种连续测量方法.
- 模拟和实验结果证明了拟议技术的可行性和准确性.
- 新的分析方法显示,它有望提高步骤高度测量的计量能力.
结论:
- 经过修改的VAWI技术为测量步骤高度标准提供了一种精确且潜在的更有效的方法.
- 连续边缘分析与传统方法相比,是一个显著的进步.
- 对于先进的应用,需要进一步探索VAWI的计量潜力.
关键词:
沃拉斯顿的镜.干涉测量干涉测量干涉测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰测量干扰计量学 计量学 计量学多波长干扰仪的多波长干扰仪折射率指数的折射率指数是什么步骤高度标准 标准步骤高度标准标准厚度标准的厚度.波长变化的干涉测量波长变化波长的干涉测量.波形板的波形板是什么意思
相关概念视频
01:25IR Spectrometers
3.1K
There are two main infrared (IR) spectrophotometers: dispersive IR spectrometers and Fourier transform infrared (FTIR) spectrometers. In a dispersive IR spectrometer, a beam of infrared radiation produced by a hot wire is divided into two parallel equal-intensity beams using mirrors. One beam passes through the sample, while another is a reference beam. The beams then move through the monochromator, which separates the radiations into a continuous spectrum of different frequencies. The...
3.1K
01:30Electronic Distance Measuring Instruments
771
Electronic Distance Measuring Instruments (EDMs) are essential tools in modern surveying, offering precise distance measurements by emitting electromagnetic signals and calculating the time required for these signals to travel to a target and return. Two primary types of signals are used in EDMs — light waves and microwaves — each suited to specific environmental and distance requirements. Light-wave-based EDMs utilize either infrared or laser light, providing high accuracy over...
771