基于MEMS Sagnac循环反射器的Fabry-Pérot腔完全可调节,具有极低的静电功耗
Young Jae Park1, Man Jae Her1, Youngjae Jeong2
1Department of Robotics and Mechatronics Engineering, Daegu Gyeongbuk Institute of Science and Technology (DGIST), Daegu, 42988, Republic of Korea.
Microsystems & nanoengineering
|August 29, 2024
概括
我们使用微电机系统 (MEMS) 开发了一种可调节的法布里-佩罗腔,用于光电子. 这种可调节的空洞提供了高效的调节,响应时间快,功耗低.
科学领域:
- 光电学是指光电子产品.
- 光子学 是一个光子学.
- 微电子机械系统 (MEMS) 是一种微电子机械系统.
背景情况:
- 法布里-佩罗干扰仪是光学系统的关键组件,如激光器和传感器.
- 现有的可调节空腔通常面临效率,可扩展性和功耗方面的挑战.
研究的目的:
- 为了展示一个新的可调的法布里-佩罗洞穴.
- 集成可调 Sagnac 循环反射器 (SLR) 和使用静电 MEMS 执行器的相变器.
主要方法:
- 与标准晶圆级光子学工艺相容的制造.
- 使用可调节的单反相机和相变器的静电MEMS执行器.
- 其特点是反射率,相位转移,响应时间和功耗.
主要成果:
- 实现了连续调节的单反相机,其灭比率>20dB.
- 证明了完全的2π相位转移.
- 响应时间为<25μs,静电功率<20 fW,调节能量<20 pJ.
结论:
- 开发的基于MEMS的可调整的法布里-佩罗腔提供了高效,可扩展和低功耗的调整.
- 这种技术适用于先进的光电子应用,如传感器,激光器和过器.


