MEMS SagnacFabry-Pérot,

Young Jae Park1, Man Jae Her1, Youngjae Jeong2

  • 1Department of Robotics and Mechatronics Engineering, Daegu Gyeongbuk Institute of Science and Technology (DGIST), Daegu, 42988, Republic of Korea.

PubMed
概括

我们使用微电机系统 (MEMS) 开发了一种可调节的法布里-佩罗腔,用于光电子. 这种可调节的空洞提供了高效的调节,响应时间快,功耗低.